A Kühlerist ein Kühlwassergerät, das einen konstanten Druck, eine konstante Temperatur und einen konstanten Durchfluss liefern kann. Dies geschieht durch Einspritzen einer angemessenen Menge Wasser in den Wassertank, Kühlen des Wassers durch das Kühlsystem und Verwenden einer Pumpe, um das Kühlwasser zu den Geräten zu transportieren, die gekühlt werden müssen. Das Kühlwasser entzieht dem Gerät die Wärme, um den Kühleffekt zu erzielen. Kühlwasser wird hauptsächlich wegen seiner hohen Frequenz und seines großen Stroms zu Zwischenfrequenzgeräten hinzugefügt. Wenn das Magnetron-Sputtertarget verwendet wird, erzeugt es eine hohe Temperatur und verformt die Pistole. Daher ist ein Wassermantel zur Kühlung der Pistole erforderlich. Das Magnetronsputtern gilt als eine der herausragendsten Errungenschaften der Beschichtungstechnologie. Seine Vorteile sind eine gute Film-Substrat-Bindungskraft, eine hohe Sputterrate, ein geringer Temperaturanstieg des Substrats und eine gute Gerätestabilität. Der Kühler verfügt über ein unabhängiges Wasserzirkulationssystem und ein unabhängiges Kühlsystem, das nicht von der äußeren Umgebung beeinflusst wird. Zusammen sorgen diese Merkmale für eine zuverlässige Temperaturkontrolle und hochwertige Beschichtungsergebnisse für den Vakuum-Ionenbeschichtungsprozess.
Zu den Funktionen und Eigenschaften des Kühlers in der Vakuum-Ionenbeschichtungsmaschine gehören:
1. Kühlung des Targets: Das Target in der Vakuum-Ionenbeschichtungsmaschine wird zur Erzeugung von Metallionen verwendet, erzeugt jedoch während des Beschichtungsprozesses viel Wärme. Der Kühler kühlt das Target durch das zirkulierende Kühlsystem schnell ab, um die normale Betriebstemperatur des Targets aufrechtzuerhalten, eine Überhitzung der Ausrüstung zu verhindern, die zu Ausfällen oder einer Verschlechterung der Beschichtungsqualität führt, und eine stabile Ionenabgabe sicherzustellen.
2.Stabilitätskontrolle: DieKühlerkann die Temperatur des Geräts stabil steuern, um sicherzustellen, dass das Gerät stabil innerhalb des normalen Betriebstemperaturbereichs arbeitet. Dies trägt dazu bei, die Konsistenz und Stabilität der Beschichtung aufrechtzuerhalten und die Konsistenz und Zuverlässigkeit der Beschichtungsqualität zu verbessern.
3. Hochpräzise Einstellung: Die Betriebsparameter des Kühlers können entsprechend den spezifischen Anforderungen angepasst werden, einschließlich Kühlwassertemperatur, Durchfluss und Druck. Dadurch kann der Kühler eine präzise Temperaturregelung entsprechend den unterschiedlichen Beschichtungsanforderungen ermöglichen und so die Stabilität und hohe Qualität des Beschichtungsprozesses gewährleisten.
3. Energieeinsparung: Die hocheffiziente Kühlleistung und die präzise Steuerfunktion des Kühlers tragen zur Reduzierung des Energieverbrauchs bei. Durch eine effektive Steuerung der Gerätetemperatur können zusätzliche Energieverschwendung reduziert und die Effizienz der Energienutzung verbessert werden.
5. Umweltschutzleistung: Der Einsatz eines Kühlers in einer Vakuum-Ionenbeschichtungsmaschine kann die negativen Auswirkungen auf die Umwelt verringern. Es nutzt zirkulierendes Wasser zur Kühlung, reduziert den Wasserverbrauch und erzeugt während des Betriebs weniger Lärm und Vibrationen.
6.Umweltkontrolle: Durch den Einsatz des Kühlers in der Vakuum-Ionenbeschichtungsmaschine können auch die Umgebungstemperatur und -feuchtigkeit kontrolliert werden, um eine gute Arbeitsumgebung zu schaffen. Durch geeignete Umgebungstemperatur und Luftfeuchtigkeit kann der Vakuumgrad erhöht, die Auswirkungen von Verunreinigungen und Gasen verringert und die Qualität der Beschichtung verbessert werden.
Zusammenfassend ist die Anwendung vonKältemaschinenin Vakuum-Ionenbeschichtungsmaschinen deckt viele Aspekte ab, wie z. B. Kühlziele, Kühlsubstrate, Kühlgeräte und Umgebungskontrolle, die Gewährleistung der Temperaturkontrolle von Geräten und Werkstücken während des Beschichtungsprozesses und die Verbesserung der Beschichtungsqualität und Produktivität.